Czochralski-módszer

Ez a közzétett változat, ellenőrizve: 2024. november 24.

A Czochralski-módszer, más néven Czochralski-technika vagy Czochralski-eljárás, egy kristálynövesztési módszer, amelyet félvezetők (pl. szilícium, germánium és gallium-arzenid), fémek (pl. palládium, platina, ezüst, arany), sók és szintetikus drágakövek egykristályainak előállítására használnak.

fémesen csillogó, felül csúcsos szilícium henger
Czochralski (CZ) módszerrel előállított szilícium egykristály csúcsa

Története

szerkesztés

A módszer Jan Czochralski lengyel tudósról kapta a nevét, aki 1915-ben találta fel a módszert[1], miközben a fémek kristályosodási sebességét vizsgálta. A felfedezést véletlenül tette: ahelyett, hogy tintatartójába mártotta volna a tollát, olvadt ónba mártotta, és egy ónszálat rajzolt, amelyről később kiderült, hogy egykristály. A módszert ma is használják a világon a félvezetőket használó elektronika több mint 90 százalékában.[2]

Alkalmazása

szerkesztés

A legfontosabb alkalmazás talán az akár több méteres, henger alakú tömbök, az egykristályos szilícium bólák növesztése, amelyet az elektronikai iparban félvezető eszközök, például integrált áramkörök készítéséhez használnak. Más félvezetők, mint például a gallium-arzenid, szintén növeszthetők ezzel a módszerrel, bár ebben az esetben kisebb hibasűrűség érhető el a Bridgman-Stockbarger-módszer változataival.

A módszer nem korlátozódik fém- vagy metalloidkristályok előállítására. Például nagyon nagy tisztaságú sókristályok előállítására használják, beleértve a részecskefizikai kísérletekhez használt, ellenőrzött izotóp-összetételű anyagokat is, a zavaró fémionok és a gyártás során elnyelt víz szigorú ellenőrzésével („milliárdnyi részre jutó” mérések).

  1. J. Czochralski (1918). „Ein neues Verfahren zur Messung der Kristallisationsgeschwindigkeit der Metalle (A new method for the measurement of the crystallization rate of metals)”. Zeitschrift für Physikalische Chemie 92, 219–221. o. DOI:10.1515/zpch-1918-9212. 
  2. Stuart Dowell. „Scientist who laid the foundations for Silicon Valley honoured at long last”. [2023. július 13-i dátummal az eredetiből archiválva] (Hozzáférés: 2023. május 3.)